VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen aanzienlijke uitdagingen te overwinnen. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.
VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:
• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels
SiC cantileverpeddel SiC-procesbuizen Siliciumcarbide procesbuis SiC verticale wafelboot SiC horizontale wafelboot SiC horizontale quare waferboot SiC LPCVD wafelboot SiC horizontale plaatboot SiC ronde wafelboot
Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:
Focusringen
Sproeiers
Schilden
Douchekop
Ramen / Deksels
Andere aangepaste componenten
VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.
• Verspreiders
• Isolatoren
• Susceptoren
• Andere op maat gemaakte thermische componenten
Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
Eigendom | Typische waarde |
Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
SiC/SiC-gehalte | > 99,96% |
Si / Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
Schijnbare porositeit | < 16% |
Compressie sterkte | > 600 MPa |
Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
Bestand tegen thermische schokken | Extreem goed |
VeTek Semiconductor levert hoogwaardige SiC-procesbuizen voor de productie van halfgeleiders. Onze SiC-procesbuizen blinken uit in oxidatie- en diffusieprocessen. Met superieure kwaliteit en vakmanschap bieden deze buizen stabiliteit bij hoge temperaturen en thermische geleidbaarheid voor efficiënte halfgeleiderverwerking. Wij bieden concurrerende prijzen en willen uw langetermijnpartner in China zijn.
Lees verderStuur onderzoekDe SiC Cantilever Paddle van VeTek Semiconductor is een product met zeer hoge prestaties. Onze SiC Cantilever Paddle wordt meestal gebruikt in warmtebehandelingsovens voor het hanteren en ondersteunen van siliciumwafels, chemische dampafzetting (CVD) en andere verwerkingsprocessen in halfgeleiderproductieprocessen. De hoge temperatuurstabiliteit en hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materiaal zorgen voor een hoge efficiëntie en betrouwbaarheid in het halfgeleiderverwerkingsproces. We streven ernaar producten van hoge kwaliteit te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier in China voor siliciumcarbide waferboten voor horizontale ovens, met jarenlange ervaring in R&D en productie, die de kwaliteit goed kan controleren en een concurrerende prijs kan bieden. U kunt er zeker van zijn dat u de siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven bij ons koopt.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier in China voor SiC-gecoate siliciumcarbide waferboten, met jarenlange ervaring in R&D en productie, die de kwaliteit goed kan controleren en een concurrerende prijs kan bieden. Welkom voor uw bezoek aan onze fabriek en verdere discussie over samenwerking.
Lees verderStuur onderzoekDe siliciumcarbide cantilever-peddel van VeTek Semiconductor is een belangrijk onderdeel in het halfgeleiderproductieproces, vooral geschikt voor diffusieovens of LPCVD-ovens bij hoge temperatuurprocessen zoals diffusie en RTP. Onze siliciumcarbide cantileverpaddle is zorgvuldig ontworpen en vervaardigd met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en mechanische sterkte, en kan wafers veilig en betrouwbaar naar de procesbuis transporteren onder zware procesomstandigheden voor verschillende hogetemperatuurprocessen zoals diffusie en RTP. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier zijn belangrijke componenten bij de verwerking van halfgeleiders, ontworpen om delicate siliciumwafels veilig vast te houden en te transporteren en spelen een sleutelrol in alle productiefasen. De hoogzuivere siliciumcarbide waferdragers van VeTek Semiconductor zijn zorgvuldig ontworpen en vervaardigd om uitstekende prestaties en betrouwbaarheid te garanderen. VeTek Semiconductor streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen, en we kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoek