China Siliciumcarbide keramiek Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen aanzienlijke uitdagingen te overwinnen. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.

DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:

• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels

SiC cantileverpeddel SiC-procesbuizen Siliciumcarbide procesbuis SiC verticale wafelboot SiC horizontale wafelboot SiC horizontale quare waferboot SiC LPCVD wafelboot SiC horizontale plaatboot SiC ronde wafelboot

ETS PROCESCOMPONENTEN

Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:

Focusringen

Sproeiers

Schilden

Douchekop

Ramen / Deksels

Andere aangepaste componenten

SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.

• Verspreiders

• Isolatoren

• Susceptoren

• Andere op maat gemaakte thermische componenten

Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Eigendom	Typische waarde
Werktemperatuur (°C)	1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)
SiC/SiC-gehalte	> 99,96%
Si / Gratis Si-inhoud	< 0,1%
Bulkdichtheid	2,60-2,70 g/cm3
Schijnbare porositeit	< 16%
Compressie sterkte	> 600 MPa
Koude buigsterkte	80-90 MPa (20°C)
Hete buigsterkte	90-100 MPa (1400°C)
Thermische uitzetting @1500°C	4,70 10-6/°C
Thermische geleidbaarheid @1200°C	23 W/m•K
Elasticiteitsmodulus	240 GPa
Bestand tegen thermische schokken	Extreem goed

View as

Siliciumcarbide wafelboot

De zeer zuivere siliciumcarbidewaferboot van VeTek Semiconductor is gemaakt van extreem zuiver siliciumcarbidemateriaal met uitstekende thermische stabiliteit, mechanische sterkte en chemische bestendigheid. Hoogzuivere siliciumcarbide-waferboot wordt gebruikt in toepassingen in de hete zone bij de productie van halfgeleiders, vooral in omgevingen met hoge temperaturen, en speelt een belangrijke rol bij het beschermen van wafers, het transporteren van materialen en het handhaven van stabiele processen. VeTek Semiconductor zal hard blijven werken aan het innoveren en verbeteren van de prestaties van de hoogzuivere siliciumcarbidewaferboot om aan de veranderende behoeften van de halfgeleiderproductie te voldoen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Ultrapuur siliciumcarbidepoeder voor kristalgroei

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier, toegewijd aan het leveren van hoogwaardig Ultra Pure Siliciumcarbide Poeder voor Kristalgroei. Met een zuiverheid tot 99,999 gew.% en extreem lage onzuiverheidsniveaus van stikstof, boor, aluminium en andere verontreinigingen, is het speciaal ontworpen om de semi-isolerende eigenschappen van hoogzuiver siliciumcarbide te verbeteren. Welkom om met ons te informeren en samen te werken!

Lees verder Stuur onderzoek

<1 2 3 4 >

Als professionele Siliciumcarbide keramiek fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide keramiek uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.