VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen aanzienlijke uitdagingen te overwinnen. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.
VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:
• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels
SiC cantileverpeddel SiC-procesbuizen Siliciumcarbide procesbuis SiC verticale wafelboot SiC horizontale wafelboot SiC horizontale quare waferboot SiC LPCVD wafelboot SiC horizontale plaatboot SiC ronde wafelboot
Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:
Focusringen
Sproeiers
Schilden
Douchekop
Ramen / Deksels
Andere aangepaste componenten
VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.
• Verspreiders
• Isolatoren
• Susceptoren
• Andere op maat gemaakte thermische componenten
Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
Eigendom | Typische waarde |
Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
SiC/SiC-gehalte | > 99,96% |
Si / Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
Schijnbare porositeit | < 16% |
Compressie sterkte | > 600 MPa |
Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
Bestand tegen thermische schokken | Extreem goed |
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van High Purity SiC Cantilever Paddle in China. SiC-cantileverpeddels met hoge zuiverheid worden vaak gebruikt in halfgeleiderdiffusieovens als wafeloverdracht- of laadplatforms. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant en leverancier van Vertical Column Wafer Boat & Pedestal in China, is de Vertical Column Wafer Boat & Pedestal van Vetek Semiconductor gemaakt van zeer zuivere kwarts- of silicium-koolstofkeramische (SiC) materialen, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, chemische stabiliteit en mechanische sterkte. , en is een onmisbaar kernonderdeel in het halfgeleiderproductieproces. Welkom bij uw verdere consultatie.
Lees verderStuur onderzoekVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat is een geavanceerde apparatuur voor de verwerking van halfgeleiders. De productstructuur van Contiguous Wafer Boat is zorgvuldig ontworpen om een efficiënte verwerking en productie van precisiewafels te garanderen. Vetek Semiconductor streeft ernaar uitstekende technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een professionele Chinese fabrikant van Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base en TaC Coated Graphite Base. De Silicon On Insulator Wafer van VeTek Semiconductor is een belangrijk halfgeleidersubstraatmateriaal en dankzij de uitstekende producteigenschappen speelt het een sleutelrol in hoogwaardige, energiezuinige, hoge integratie- en RF-toepassingen. Wij kijken uit naar een verdere samenwerking met u.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier van TaC-gecoate geleidingsringen, horizontale SiC-waferdragers en SiC-gecoate susceptors in China. Wij streven ernaar perfecte technische ondersteuning en ultieme productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie te bieden. Welkom om ons te contacteren.
Lees verderStuur onderzoekDe SiC Wafer Boat van VeTek Semiconductor is een product met zeer hoge prestaties. Onze SiC Wafer Boat wordt meestal gebruikt in halfgeleideroxidatie-diffusieovens om ervoor te zorgen dat de temperatuur gelijkmatig over de wafer wordt verdeeld en de verwerkingskwaliteit van siliciumwafels te verbeteren. De hoge temperatuurstabiliteit en hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materialen zorgen voor een efficiënte en betrouwbare halfgeleiderverwerking. Wij streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoek