De SiC Wafer Boat van VeTek Semiconductor is een product met zeer hoge prestaties. Onze SiC Wafer Boat wordt meestal gebruikt in halfgeleideroxidatie-diffusieovens om ervoor te zorgen dat de temperatuur gelijkmatig over de wafer wordt verdeeld en de verwerkingskwaliteit van siliciumwafels te verbeteren. De hoge temperatuurstabiliteit en hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materialen zorgen voor een efficiënte en betrouwbare halfgeleiderverwerking. Wij streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Het volgende is de introductie van hoogwaardige SiC Wafer Boat van VeTek Semiconductor, in de hoop u te helpen SiC Wafer Boat beter te begrijpen. Welkom nieuwe en oude klanten om met ons te blijven samenwerken om een betere toekomst te creëren!
SiC horizontale vierkante waferboten dienen als kritische componenten in diffusieprocessen bij hoge temperaturen en functioneren als wafersteunen. Deze boten spelen een cruciale rol bij het veilig en efficiënt hanteren van delicate wafels tijdens de verwerking.
Sterkte bij hoge temperaturen: De boot moet uitzonderlijke sterkte vertonen bij hoge temperaturen om de zware omstandigheden van verwerking bij hoge temperaturen te kunnen doorstaan.
Chemische stabiliteit bij hoge temperaturen: Het behoud van de structurele integriteit en chemische samenstelling onder extreem hoge temperaturen zorgt voor proceszuiverheid.
Deeltjesvrije prestaties: De boot moet vrij zijn van deeltjesvorming of verontreiniging om de kwaliteit van de verwerkte wafers te waarborgen.
Veelzijdige specificaties: Vetek Semiconductor biedt een reeks standaardspecificaties en levert diensten op maat om aan specifieke vereisten te voldoen.
Kwaliteit en snelheid: Vetek Semiconductor zorgt voor producten van hoge kwaliteit en snelle levering, tegemoetkomend aan de eisen van snelle industrieën.
Materiaalexpertise: Het gebruik van dicht geherkristalliseerd siliciumcarbidemateriaal garandeert superieure prestaties en een lange levensduur van de boten.
Hoge temperatuurdrempel: Vetek Semiconductor-boten beschikken over een maximale bedrijfstemperatuur van 1600°C, geschikt voor de meest veeleisende processen bij hoge temperaturen.
Kosteneffectiviteit: Vetek Semiconductor-boten bieden een zeer concurrerende kosten-prestatieverhouding en bieden waar voor uw geld.
Duurzaamheid: Met een lange levensduur bieden Vetek Semiconductor-boten betrouwbaarheid en consistentie in waferbehandelingsprocessen.
Vetek Semiconductor onderscheidt zich op de markt vanwege zijn toewijding aan kwaliteit, aanpassingsmogelijkheden, materiaalinnovatie, hoge temperatuurmogelijkheden, kosteneffectiviteit en lange levensduur, waardoor het de voorkeurskeuze is voor halfgeleiderfabrikanten wereldwijd.
Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
Eigendom | Typische waarde |
Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
SiC-inhoud | > 99,96% |
Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
Schijnbare porositeit | < 16% |
Compressie sterkte | > 600 MPa |
Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
Bestand tegen thermische schokken | Extreem goed |