Siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven

Hoogwaardige siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven wordt aangeboden door de Chinese fabrikant VeTek Semiconductor. Koop siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven die van hoge kwaliteit is, rechtstreeks van de fabriek met een lage prijs. Siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven wordt gebruikt in ovenbuizen voor het laden en overbrengen van wafers tijdens behandelingen bij hoge temperaturen. Vanwege de uitstekende eigenschappen van siliciumcarbidematerialen, zoals hoge temperatuurbestendigheid, chemische corrosieweerstand en thermische stabiliteit, worden ze veel gebruikt in verschillende warmtebehandelingsprocessen zoals diffusie, oxidatie, CVD en gloeien.

Siliciumcarbide waferboot voor horizontale oven is gemaakt van siliciumcarbidemateriaal en heeft de volgende kenmerken:

1. Hoge hardheid en slijtvastheid: Siliciumcarbide heeft een hardheid die de tweede is na die van diamant, waardoor het zeer slijtvast is. Hierdoor zijn boten van siliciumcarbide bestand tegen herhaalde mechanische schokken en wrijving, waardoor hun levensduur wordt verlengd.

2. Bestand tegen hoge temperaturen: Siliciumcarbide heeft een smeltpunt van 2730 ° C, waardoor siliciumcarbideboten geschikt zijn voor omgevingen met hoge temperaturen en verschillende productieprocessen van halfgeleiders, zoals oxidatie en diffusie bij hoge temperaturen.

3. Lage thermische uitzettingscoëfficiënt: Siliciumcarbide heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor de maatvastheid bij hoge temperaturen behouden blijft, vervorming van de boot wordt voorkomen en de nauwkeurigheid van de waferverwerking wordt beïnvloed.

4. Goede chemische stabiliteit: Siliciumcarbide is bestand tegen de meeste chemicaliën en reageert niet met gewone zure en alkalische oplossingen, waardoor de veiligheid en netheid van de wafels wordt gegarandeerd.

We kunnen verschillende soorten siliciumcarbide waferboten vervaardigen, zoals horizontale waferboten, verticale waferboten en andere op maat gemaakte boten.

We gebruiken zeer zuiver geherkristalliseerd siliciumcarbide met onderstaande parameters:

Toepassingen

Siliciumcarbide waferboot voor horizontale ovens vindt brede toepassingen in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie:

Wafer reinigen en etsen

Diffusie en oxidatie

Galvaniseren en etsen

Chemisch-mechanisch polijsten (CMP)

Hittebehandeling

Waferoverdracht en opslag

VeTek halfgeleiderproductiewinkel