Zeer zuivere SiC-cantileverpeddel

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van High Purity SiC Cantilever Paddle in China. SiC-cantileverpeddels met hoge zuiverheid worden vaak gebruikt in halfgeleiderdiffusieovens als wafeloverdracht- of laadplatforms. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Hoge zuiverheid SiC Cantilever Paddle is een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur. Het product is gemaakt van zeer zuiver siliciumcarbide (SiC) materiaal. Gecombineerd met zijn uitstekende eigenschappen van hoge zuiverheid, hoge thermische stabiliteit en corrosieweerstand, wordt het veel gebruikt in processen zoals waferoverdracht, ondersteuning en verwerking bij hoge temperaturen, waardoor een betrouwbare garantie wordt geboden voor het waarborgen van procesnauwkeurigheid en productkwaliteit.

Over het algemeen speelt High Purity SiC Cantilever Paddle de volgende specifieke rollen in het halfgeleiderverwerkingsproces:

Wafeloverdracht: Hoge zuiverheid SiC Cantilever Paddle wordt meestal gebruikt als wafeloverdrachtapparaat in diffusie- of oxidatieovens op hoge temperatuur. De hoge hardheid maakt het slijtvast en niet gemakkelijk te vervormen tijdens langdurig gebruik, en kan ervoor zorgen dat de wafer nauwkeurig gepositioneerd blijft tijdens het overdrachtsproces. Gecombineerd met zijn hoge temperatuur- en corrosieweerstand, kan het wafers veilig in en uit de ovenbuis overbrengen in omgevingen met hoge temperaturen zonder enige verontreiniging of schade aan de wafers te veroorzaken.

Ondersteuning voor wafels: SiC-materiaal heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, wat betekent dat de grootte minder verandert als de temperatuur verandert, waardoor de nauwkeurige controle in het proces behouden blijft. Bij chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) wordt SiC Cantilever Paddle gebruikt om de wafel te ondersteunen en te fixeren om ervoor te zorgen dat de wafel stabiel en vlak blijft tijdens het afzettingsproces, waardoor de uniformiteit en kwaliteit van de film wordt verbeterd. .

Toepassing van hoge temperatuurprocessen: SiC Cantilever Paddle heeft een uitstekende thermische stabiliteit en is bestand tegen temperaturen tot 1600°C. Daarom wordt dit product veel gebruikt bij gloeien, oxidatie, diffusie en andere processen bij hoge temperaturen.

Fysische basiseigenschappen van Zeer zuivere SiC-cantileverpeddel: