TaC-gecoate wafer susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor is een grafietplaat gecoat met tantaalcarbide voor epitaxiale groei van siliciumcarbide om de kwaliteit en prestaties van de wafer te verbeteren. VeTek is geselecteerd vanwege zijn geavanceerde coatingtechnologie en duurzame oplossingen om uitstekende SiC-epitaxieresultaten en een langere levensduur van de susceptor te garanderen. Graag uw verdere vragen.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De VeTek Semiconductor TaC-gecoate wafer susceptor is een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt inMetaal-organische chemische dampafzetting (MOCVD)reactoren voorhalfgeleider epitaxiale (epi) processen. Deze gespecialiseerde ronde basis is gemaakt van hoogwaardig grafiet en is bedekt met een laag Tantaalcarbide (TaC), dat bekend staat om zijn uitzonderlijke thermische en chemische eigenschappen.

De primaire functie van de TaC-coating is het verbeteren van de prestaties en duurzaamheid van de wafer-susceptor onder de zware omstandigheden van de halfgeleiderproductie. Tantaalcarbide staat bekend om zijn hardheid, hoog smeltpunt en uitstekende slijtvastheid, waardoor het de ideale beschermlaag is. Deze coating beschermt de onderliggende grafietbasis tegen de corrosieve chemische reacties en mechanische spanningen die daarin optredenMOCVD-reactoren, waardoor de levensduur van de apparatuur wordt verlengd en de betrouwbaarheid wordt verbeterd.

Tijdens de epitaxiale groei van halfgeleidermaterialen speelt de met TaC gecoate wafer susceptor een cruciale rol door nauwkeurige filmafzetting te garanderen. De weerstand tegen hoge temperaturen en agressieve chemische omgevingen is van cruciaal belang voor de nauwkeurige productie van halfgeleiderapparaten, waardoor de apparatuur stabiel kan functioneren onder veeleisende procesomstandigheden.

De combinatie van eengrafiet kernEnTaC-coatingzorgt voor een uniforme warmteverdeling over de susceptor, wat essentieel is voor het verbeteren van de herhaalbaarheid en kwaliteit van halfgeleiderlagen die tijdens het MOCVD-proces zijn gegroeid. Dit geavanceerde materiaalontwerp zorgt niet alleen voor duurzaamheid, maar voldoet ook aan de strenge eisen van de moderne halfgeleiderproductie voor hoogwaardige elektronische componenten.

Als toonaangevende leverancier en fabrikant van TaC-gecoate wafer-susceptors zet VeTek Semiconductor zich in voor het leveren van hoogwaardige technische oplossingen voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw vertrouwde partner voor de lange termijn in China te worden, die betrouwbare, op maat gemaakte producten aanbiedt.

VeTek Semiconductor TaC-gecoate wafer-susceptorwinkels:

TaC coated wafer susceptor shops