CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen

VeTek Semiconductor heeft vele jaren van technologische ontwikkeling doorgemaakt en beheerst de toonaangevende procestechnologie van CVD TaC-coating. CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen is een van de meest volwassen CVD TaC-coatingproducten van VeTek Semiconductor en is een belangrijk onderdeel voor het bereiden van SiC-kristallen met behulp van de PVT-methode. Met de hulp van VeTek Semiconductor geloof ik dat de productie van SiC-kristallen soepeler en efficiënter zal verlopen.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Siliciumcarbide monokristallijn substraatmateriaal is een soort kristalmateriaal dat behoort tot halfgeleidermateriaal met een brede bandafstand. Het heeft de voordelen van hoge spanningsweerstand, hoge temperatuurbestendigheid, hoge frequentie, laag verlies, enz. Het is een basismateriaal voor de vervaardiging van elektronische apparaten met hoog vermogen en radiofrequentieapparaten voor microgolven. Momenteel zijn de belangrijkste methoden voor het kweken van SiC-kristallen fysisch damptransport (PVT-methode), chemische dampafzetting op hoge temperatuur (HTCVD-methode), vloeistoffasemethode, enz.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

De PVT-methode is een relatief volwassen methode die meer geschikt is voor industriële massaproductie. Door het SiC-zaadkristal bovenop de smeltkroes te plaatsen en het SiC-poeder als grondstof op de bodem van de smeltkroes te plaatsen, in een gesloten omgeving met hoge temperatuur en lage druk, sublimeert het SiC-poeder en wordt het naar boven overgebracht naar de omgeving. van het kiemkristal onder invloed van temperatuurgradiënt en concentratieverschil, en herkristalliseert na het bereiken van de oververzadigde toestand, kan de controleerbare groei van SiC-kristalgrootte en specifiek kristaltype worden bereikt.

De belangrijkste functie van de CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen is het verbeteren van de vloeistofmechanica, het geleiden van de gasstroom en het helpen van het kristalgroeigebied om een uniforme atmosfeer te verkrijgen. Het voert ook effectief warmte af en handhaaft de temperatuurgradiënt tijdens de groei van SiC-kristallen, waardoor de groeiomstandigheden van SiC-kristallen worden geoptimaliseerd en kristaldefecten worden vermeden die worden veroorzaakt door een ongelijkmatige temperatuurverdeling.

Uitstekende prestaties van CVD TaC-coating

● Ultrahoge zuiverheid: Voorkomt het ontstaan van onzuiverheden en vervuiling.

● Stabiliteit bij hoge temperaturen: Hoge temperatuurstabiliteit boven 2500°C maakt werking bij ultrahoge temperaturen mogelijk.

● Tolerantie voor chemische omgevingen: Tolerantie voor H(2), NH(3), SiH(4) en Si, voor bescherming in agressieve chemische omgevingen.

● Lange levensduur zonder verlies: Een sterke binding met het grafietlichaam kan een lange levensduur garanderen zonder dat de binnencoating loslaat.

● Bestand tegen thermische schokken: De weerstand tegen thermische schokken versnelt de werkingscyclus.

●Strikte maattolerantie: Zorgt ervoor dat de coatingdekking voldoet aan strikte maattoleranties.

VeTek Semiconductor beschikt over een professioneel en volwassen technisch ondersteuningsteam en verkoopteam dat de meest geschikte producten en oplossingen voor u op maat kan maken. Van pre-sales tot after-sales, VeTek Semiconductor streeft er altijd naar om u de meest complete en uitgebreide diensten te bieden.

Fysische eigenschappen van TaC-coating

Fysische eigenschappen van TaC-coating
TaC-coating Dichtheid	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
TaC-coating Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)
Thermische geleidbaarheid	9-22(W/m·K)

VeTek Semiconductor CVD TaC-gecoate productwinkels met drie bloembladen

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

Hottags: CVD TaC gecoate geleidering met drie bloembladen, China, fabrikant, leverancier, fabriek, aangepast, kopen, geavanceerd, duurzaam, gemaakt in China

Productlabel

Gerelateerde categorie