Waferbehandeling robotarm

Vetek Semiconductor is professioneel in het hanteren van robotarmen met wafers, gemaakt door middel van thermische spuittechnologie.

1.Thermische spuittechnologie kan de slijtvastheid van de robotarm effectief verbeteren. De robotarm voor het hanteren van wafels maakt tijdens bedrijf regelmatig contact met wafels en andere apparatuur. Dit hoogfrequente contact en deze beweging kan gemakkelijk slijtage van mechanische onderdelen veroorzaken. Door slijtvaste materialen op het oppervlak van de robotarm te spuiten kan de slijtage van de onderdelen sterk worden verminderd, kan de levensduur van de robotarm worden verlengd en kunnen de onderhoudskosten worden verlaagd.

2. De verbetering van de corrosieweerstand is ook een aanzienlijk voordeel van thermische spuittechnologie. Bij het productieproces van halfgeleiders moet de robotarm werken in een omgeving vol corrosieve gassen en chemische reagentia. Deze chemicaliën kunnen de robotarm aantasten, waardoor de prestaties en precisie ervan worden beïnvloed. Thermische spuittechnologie kan een dichte anti-corrosielaag op het oppervlak van de robotarm vormen, waardoor de invasie van corrosieve stoffen effectief wordt voorkomen, waardoor de stabiele werking van de robotarm onder zware omstandigheden wordt gegarandeerd.

3.Thermische spuittechnologie kan ook de thermische stabiliteit van de robotarm verbeteren. Bij het productieproces van halfgeleiders genereren sommige processen hoge temperaturen, en de robotarm moet nauwkeurig blijven werken in een omgeving met hoge temperaturen. Thermische spuittechnologie zorgt ervoor dat de robotarm niet vervormt of verslechtert bij hoge temperaturen door het oppervlak van de robotarm te coaten met materialen met hoge temperatuurstabiliteit, waardoor de betrouwbaarheid en precisie van de algehele productielijn wordt verbeterd.

4.De toepassing van antistatische coating verbetert de prestaties van de robotarm verder. Wafers zijn zeer gevoelig voor statische elektriciteit en de accumulatie van statische elektriciteit kan vervuiling van het waferoppervlak of schade aan elektronische apparaten veroorzaken. Door middel van thermische spuittechnologie kan een antistatische coating op het oppervlak van de robotarm worden gevormd, die de opwekking van statische elektriciteit effectief vermindert, de wafer beschermt tegen schade door statische elektriciteit en de kwaliteit en veiligheid van het product garandeert.

5. Thermische spuittechnologie kan ook de deeltjesverontreiniging van de robotarm tijdens bedrijf verminderen. Bij de productie van halfgeleiders kan elke verontreiniging met kleine deeltjes de kwaliteit van de wafer aantasten. Door gebruik te maken van thermische spuittechnologie kan een gladde en dichte coating op het oppervlak van de robotarm worden gevormd, waardoor de hoeveelheid deeltjes wordt verminderd, de productieomgeving schoon blijft en zo de opbrengst van het product wordt verbeterd.