Siliciumepitaxie, EPI, Epitaxie, Epitaxiaal verwijst naar de groei van een kristallaag met dezelfde kristalrichting en verschillende kristaldiktes op een enkel kristallijn siliciumsubstraat. Epitaxiale groeitechnologie is vereist voor de vervaardiging van discrete halfgeleidercomponenten en geïntegreerde schakelingen, omdat de onzuiverheden in halfgeleiders onder meer het N-type en het P-type omvatten. Door een combinatie van verschillende typen vertonen halfgeleiderapparaten een verscheidenheid aan functies.
De siliciumepitaxiegroeimethode kan worden onderverdeeld in gasfase-epitaxie, vloeistoffase-epitaxie (LPE), vaste fase-epitaxie, chemische dampafzettingsgroeimethode wordt wereldwijd veel gebruikt om aan de roosterintegriteit te voldoen.
Typische silicium epitaxiale apparatuur wordt vertegenwoordigd door het Italiaanse bedrijf LPE, dat een pannenkoek epitaxiale hy pnotische tor, een hy pnotische tor van het vattype, een halfgeleider hy pnotische, waferdrager enzovoort heeft. Het schematische diagram van de tonvormige epitaxiale hy pelector-reactiekamer is als volgt. VeTek Semiconductor kan een tonvormige epitaxiale hy pelector voor wafers leveren. De kwaliteit van SiC-gecoate HY-pelector is zeer volwassen. Kwaliteit gelijkwaardig aan SGL; Tegelijkertijd kan VeTek Semiconductor ook kwartsmondstuk van silicium epitaxiale reactieholte, kwartsschot, stolp en andere complete producten leveren.
Silicium epitaxiale suceptor Vat-type Wafer Susceptor Halfgeleider ontvanger SiC-gecoate susceptor
Als de epitaxiale ontvanger Pannenkoekenmaker SiC-gecoate susceptor
VeTek Semiconductor heeft vele jaren ervaring in de productie van hoogwaardige SiC-gecoate grafietkroesdeflectoren. We hebben een eigen laboratorium voor materiaalonderzoek en -ontwikkeling en kunnen uw op maat gemaakte ontwerpen ondersteunen met superieure kwaliteit. wij heten u welkom om onze fabriek te bezoeken voor meer discussie.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende SiC-gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafers fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een SiC-gecoate pannenkoek susceptor die speciaal is ontworpen voor LPE PE3061S 6'' wafers . Deze epitaxiale susceptor heeft een hoge corrosieweerstand, goede warmtegeleidingsprestaties en goede uniformiteit. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende SiC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S-fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een SiC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S die speciaal is ontworpen voor de LPE-siliciumepitaxiereactor. Deze SiC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S is de onderkant van de vat susceptor. Het is bestand tegen hoge temperaturen van 1600 graden Celsius en verlengt de levensduur van het grafiet reserveonderdeel. Welkom om ons een aanvraag te sturen.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S-fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S die speciaal is ontworpen voor de LPE-siliciumepitaxiereactor. Deze SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S is de bovenkant samen met een vat susceptor. Deze CVD SiC-gecoate plaat beschikt over een hoge zuiverheid, uitstekende thermische stabiliteit en uniformiteit, waardoor hij geschikt is voor het kweken van hoogwaardige epitaxiale lagen. Wij heten u welkom om onze fabriek te bezoeken in China.
Lees verderStuur onderzoek