Waarom krijgt SiC-coating zoveel aandacht? - VeTek-halfgeleider

In de afgelopen jaren, met de voortdurende ontwikkeling van de elektronica-industrie,de derde generatie halfgeleiderMaterialen zijn een nieuwe drijvende kracht geworden voor de ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie. Als typische vertegenwoordiger van de halfgeleidermaterialen van de derde generatie wordt SiC op grote schaal gebruikt in de halfgeleiderproductie, vooral in de productie van halfgeleiders.thermisch veldmaterialen, vanwege de uitstekende fysische en chemische eigenschappen.

Wat is SiC-coating precies? En wat isCVD SiC-coating?

SiC is een covalent gebonden verbinding met hoge hardheid, uitstekende thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en hoge corrosieweerstand. De thermische geleidbaarheid kan 120-170 W/m·K bereiken, wat een uitstekende thermische geleidbaarheid laat zien bij de warmteafvoer van elektronische componenten. Bovendien is de thermische uitzettingscoëfficiënt van siliciumcarbide slechts 4,0×10-6/K (in het bereik van 300–800℃), waardoor het de maatstabiliteit kan behouden in omgevingen met hoge temperaturen, waardoor vervorming of defecten veroorzaakt door thermische omstandigheden aanzienlijk worden verminderd. spanning. Siliciumcarbidecoating verwijst naar een coating gemaakt van siliciumcarbide die op het oppervlak van onderdelen wordt aangebracht door middel van fysische of chemische dampafzetting, spuiten, enz.  

Chemische dampafzetting (CVD)is momenteel de belangrijkste technologie voor het voorbereiden van SiC-coating op substraatoppervlakken. Het belangrijkste proces is dat de gasfasereagentia een reeks fysische en chemische reacties op het substraatoppervlak ondergaan, en uiteindelijk wordt de CVD SiC-coating op het substraatoppervlak afgezet.

Sem-gegevens van CVD SiC-coating

In welke schakels van de halfgeleiderproductie heeft siliciumcarbide, aangezien de coating van siliciumcarbide zo krachtig is, een grote rol gespeeld? Het antwoord zijn de epitaxieproductieaccessoires.

De SIC-coating heeft het belangrijkste voordeel dat deze qua materiaaleigenschappen in hoge mate aansluit bij het epitaxiale groeiproces. Hieronder volgen de belangrijke rollen en redenen van SIC-coatingSIC-coating epitaxiale susceptor:

1. Hoge thermische geleidbaarheid en weerstand tegen hoge temperaturen

De temperatuur van de epitaxiale groeiomgeving kan boven de 1000 ℃ komen. SiC-coating heeft een extreem hoge thermische geleidbaarheid, die warmte effectief kan afvoeren en de temperatuuruniformiteit van epitaxiale groei kan garanderen.

2. Chemische stabiliteit

SiC-coating heeft een uitstekende chemische inertheid en is bestand tegen corrosie door corrosieve gassen en chemicaliën, waardoor wordt gegarandeerd dat de coating niet nadelig reageert met reactanten tijdens epitaxiale groei en de integriteit en zuiverheid van het materiaaloppervlak behouden blijft.

3. Overeenkomende roosterconstante

Bij epitaxiale groei kan SiC-coating goed worden gecombineerd met een verscheidenheid aan epitaxiale materialen vanwege de kristalstructuur, die de mismatch in het rooster aanzienlijk kan verminderen, waardoor kristaldefecten worden verminderd en de kwaliteit en prestaties van de epitaxiale laag worden verbeterd.

4. Lage thermische uitzettingscoëfficiënt

SiC-coating heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en ligt relatief dicht bij die van gewone epitaxiale materialen. Dit betekent dat er bij hoge temperaturen geen ernstige spanning zal zijn tussen de basis en de SiC-coating vanwege het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënten, waardoor problemen zoals loslaten van het materiaal, scheuren of vervorming worden vermeden.

5. Hoge hardheid en slijtvastheid

SiC-coating heeft een extreem hoge hardheid, dus het coaten ervan op het oppervlak van de epitaxiale basis kan de slijtvastheid aanzienlijk verbeteren en de levensduur verlengen, terwijl ervoor wordt gezorgd dat de geometrie en oppervlaktevlakheid van de basis niet worden beschadigd tijdens het epitaxiale proces.

Dwarsdoorsnede en oppervlakteafbeelding van SiC-coating

Naast dat het een accessoire is voor epitaxiale productie,SiC-coating heeft ook op deze gebieden aanzienlijke voordelen:

Halfgeleiderwafeldragers：Tijdens de verwerking van halfgeleiders vereist de hantering en verwerking van wafers een extreem hoge zuiverheid en precisie. SiC-coating wordt vaak gebruikt in waferdragers, beugels en trays.

Wafeldrager

Voorverwarmring：De voorverwarmingsring bevindt zich op de buitenring van de Si epitaxiale substraatbak en wordt gebruikt voor kalibratie en verwarming. Het wordt in de reactiekamer geplaatst en komt niet rechtstreeks in contact met de wafer.

  Voorverwarmring

Het bovenste halvemaandeel is de drager van andere accessoires van de reactiekamer van deSiC-epitaxieapparaat, die temperatuurgecontroleerd is en in de reactiekamer wordt geïnstalleerd zonder direct contact met de wafer. Het onderste halvemaandeel is verbonden met een kwartsbuis die gas introduceert om de basisrotatie aan te drijven. Het is temperatuurgecontroleerd, geïnstalleerd in de reactiekamer en komt niet in direct contact met de wafer.

Bovenste halvemaandeel

Daarnaast zijn er smeltkroezen voor verdamping in de halfgeleiderindustrie, elektronische buispoort met hoog vermogen, borstel die contact maakt met de spanningsregelaar, grafietmonochromator voor röntgenstraling en neutronen, verschillende vormen van grafietsubstraten en coating van atomaire absorptiebuizen, enz., SiC-coating spelen een steeds belangrijkere rol.

Waarom kiezenVeTek-halfgeleider?

Bij VeTek Semiconductor combineren onze productieprocessen precisietechniek met geavanceerde materialen om SiC-coatingproducten te produceren met superieure prestaties en duurzaamheid, zoalsSiC-gecoate wafelhouder, SiC Coating Epi-ontvanger,UV LED Epi-ontvanger, Keramische coating van siliciumcarbideEnSiC-coating ALD-kroes. We zijn in staat om aan de specifieke behoeften van de halfgeleiderindustrie en andere industrieën te voldoen en klanten te voorzien van hoogwaardige, op maat gemaakte SiC-coating.

Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com