CVD SiC-coatingmondstuk

VeTek Semiconductor is een gespecialiseerde fabrikant van CVD SiC-coatingaccessoires voor epitaxiale apparaten zoals CVD SiC Coating halvemaanonderdelen en de bijbehorende CVD SiC Coating Nozzels. Welkom bij ons.

PE1O8 is een volautomatisch cartridge-naar-cartridge-systeem, ontworpen voor de verwerking van SiC-wafels tot 200 mm. Het formaat kan worden omgeschakeld tussen 150 en 200 mm, waardoor stilstand van het gereedschap wordt geminimaliseerd. De vermindering van verwarmingsfasen verhoogt de productiviteit, terwijl automatisering de arbeid vermindert en de kwaliteit en herhaalbaarheid verbetert. Om een ​​efficiënt en kostenconcurrerend epitaxieproces te garanderen, worden drie belangrijke factoren gerapporteerd: 1) snel proces, 2) hoge uniformiteit van dikte en doping, en 3) minimalisatie van defectvorming tijdens het epitaxieproces. In de PE1O8 zorgen de kleine grafietmassa en het automatische laad-/ontlaadsysteem ervoor dat een standaardrun in minder dan 75 minuten kan worden voltooid (de standaard 10 μm Schottky-diodeformulering gebruikt een groeisnelheid van 30 μm/u). Automatisch systeem maakt laden/lossen bij hoge temperaturen mogelijk. Hierdoor zijn de opwarm- en afkoeltijden kort, terwijl de bakstap wordt verhinderd. Deze ideale omstandigheden maken de groei van echte ongedoteerde materialen mogelijk.

In het proces van epitaxie van siliciumcarbide spelen CVD SiC Coating Nozzles een cruciale rol in de groei en kwaliteit van epitaxiale lagen. Hier is de uitgebreide uitleg van de rol van spuitmonden bij epitaxie van siliciumcarbide:

Gastoevoer en -controle: Er worden mondstukken gebruikt om het gasmengsel te leveren dat nodig is tijdens epitaxie, inclusief siliciumbrongas en koolstofbrongas. Via de mondstukken kunnen de gasstroom en -verhoudingen nauwkeurig worden geregeld om een ​​uniforme groei van de epitaxiale laag en de gewenste chemische samenstelling te garanderen.

Temperatuurregeling: Mondstukken helpen ook bij het regelen van de temperatuur in de epitaxiereactor. Bij siliciumcarbide-epitaxie is temperatuur een kritische factor die de groeisnelheid en kristalkwaliteit beïnvloedt. Door warmte- of koelgas via de mondstukken aan te voeren, kan de groeitemperatuur van de epitaxiale laag worden aangepast voor optimale groeiomstandigheden.

Gasstroomverdeling: Het ontwerp van de mondstukken beïnvloedt de uniforme verdeling van gas binnen de reactor. Een uniforme gasstroomverdeling zorgt voor de uniformiteit van de epitaxiale laag en een consistente dikte, waardoor problemen met betrekking tot niet-uniformiteit van de materiaalkwaliteit worden vermeden.

Preventie van verontreiniging door onzuiverheden: Een juist ontwerp en gebruik van mondstukken kan verontreiniging door onzuiverheden tijdens het epitaxieproces helpen voorkomen. Een geschikt mondstukontwerp minimaliseert de kans dat externe onzuiverheden de reactor binnendringen, waardoor de zuiverheid en kwaliteit van de epitaxiale laag wordt gegarandeerd.

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Productiewinkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: