Disc-ontvanger

Vetek Semiconductor biedt een scherpe grafietschijfsusceptor. De SiC-coating biedt superieure thermische stabiliteit, uitstekende chemische bestendigheid en verbeterde procesuniformiteit, waardoor optimale prestaties en betrouwbaarheid worden gegarandeerd. Ervaar het volgende niveau van efficiëntie en precisie met de SiC-gecoate schijfsusceptor van Vetek Semiconductor.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De Graphite Disc Susceptor van Vetek Semiconductor, een hoogwaardig product voor geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen. Onze grafietschijf susceptor is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van de industrie en om uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid te bieden.

Deze grafietschijfsusceptor is OEM voor het AIX G5 planetaire reactorplatform.

GaN-op-Si MOCVD wordt gebruikt voor epitaxiale LED-productie, en de Aixtron G5-reactor verbetert de opbrengst en uniformiteit van het MOCVD-platform. Een volledig geroteerd symmetrisch uniform patroon op vijf wafers van 200 mm, met behulp van een siliciumsubstraat met standaarddikte en een gecontroleerd buiggedrag van de wafer, formaliseerde wat ze nodig hadden voor de fabricage van silicium.

Vetek Semiconductor's zeer zuivere grafietschijfsusceptor voor GaN-op-Si MOCVD, een betrouwbare en kosteneffectieve oplossing voor geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen.

Onze zeer zuivere grafietschijfsusceptor is speciaal ontworpen om te voldoen aan de vereisten van GaN-op-Si MOCVD-processen. Met zijn uitzonderlijke thermische stabiliteit en hittebestendigheid is het bestand tegen de veeleisende temperatuuromstandigheden die doorgaans variëren van 800 °C tot 1100 °C, waardoor optimale prestaties tijdens het depositieproces worden gegarandeerd.

Het zeer zuivere grafietmateriaal dat in onze schijfsusceptor wordt gebruikt, biedt uitstekende chemische weerstand, waardoor het compatibel is met de ammoniak (NH3) en organische metaalvoorlopers die gewoonlijk worden gebruikt in GaN-op-Si MOCVD. Dit elimineert de noodzaak voor extra SiC-coatings, waardoor de productiekosten worden verlaagd zonder dat dit ten koste gaat van de prestaties.

De zeer zuivere grafietschijfsusceptor van Vetek Semiconductor biedt een kosteneffectieve oplossing zonder concessies te doen aan de kwaliteit. De betrouwbaarheid, duurzaamheid en compatibiliteit met GaN-op-Si MOCVD-processen maken het de voorkeurskeuze voor halfgeleiderfabrikanten. Vertrouw op Vetek Semiconductor voor het leveren van hoogwaardige grafietschijfsusceptoren voor uw GaN-op-Si MOCVD-productiebehoeften.