Wafer Handling Eindeffector

Wafer Handling End Effector is een type robothand dat speciaal is ontworpen voor de halfgeleiderindustrie en meestal wordt gebruikt voor het hanteren en overbrengen vanwafeltjes. De productieomgeving van wafels vereist een extreem hoge zuiverheid, omdat kleine deeltjes of verontreinigingen ervoor kunnen zorgen dat chips tijdens de verwerking kapot gaan. Keramische materialen worden veel gebruikt bij de vervaardiging van deze handen vanwege hun uitstekende fysische en chemische eigenschappen.

Vergeleken met traditionele metalen materialen zijn de voordelen vankeramiekin materialen komen vooral tot uiting in de volgende aspecten:

    •Corrosiebestendigheid: Wafers worden tijdens het productieproces blootgesteld aan een verscheidenheid aan chemicaliën, en keramische materialen zijn effectief bestand tegen corrosie en zorgen voor langdurig gebruik van apparatuur.

    •Lage deeltjesafgifte: Omdat keramiek een extreem lage deeltjesafgifte heeft, zullen ze tijdens het verwerkingsproces nauwelijks deeltjes produceren, waardoor het risico op besmetting van de wafer wordt verminderd.

    •Goede weerstand tegen hoge temperaturen: Bij sommige processen moeten wafers worden gehanteerd in een omgeving met hoge temperaturen, en dankzij de hoge temperatuurbestendigheid van de waferhanteringsrobot van keramische materialen kunnen ze zich aanpassen aan deze zware omstandigheden.

    •Elektrische isolatie: Keramiek is een natuurlijke elektrische isolatoren, die essentieel is voor verwerkingsprocessen waarbij stroom betrokken is en kan voorkomen dat statische elektriciteit de wafers aantast.

Conventionele apparatuur voor het hanteren van wafers is gemaakt van aluminium, VetekSemi Wafer Handling SiC Boat gemaakt van SiC heeft veel voordelen. SiC staat bekend om zijn uitstekende mechanische sterkte, uitstekende thermische stabiliteit en corrosieweerstand. Deze eigenschappen maken het een ideaal materiaal voor robotarmen voor Wafer Handling, waarbij netheid, precisie en betrouwbaarheid van cruciaal belang zijn.

Met de voortdurende ontwikkeling van halfgeleidertechnologie is de omvang van wafers geleidelijk toegenomen, wat hogere eisen heeft gesteld aan het ontwerp en de fabricage van Wafer Handling End Effector. In de toekomst zullen, met de verbetering van de automatiseringstechnologie, de precisie, snelheid en betrouwbaarheid van End Effector voor Wafer Handling blijven verbeteren.

Als een van de kernapparatuur bij de productie van halfgeleiders nemen waferhanteringsrobots een belangrijke positie in in halfgeleiderfabrieken vanwege hun hoge reinheid, corrosieweerstand en hoge temperatuurstabiliteit. VeTek Semiconductor kan klanten op maat gemaakte Wafer Handling End Effector-producten en pre-sales en after-sales services bieden, en kijken uit naar uw advies.

VeTekSemEindeffector voor wafelbehandeling: